以2025年9月25日的市场数据为基准，综合基金规模（反映市场认可度），近一年收益率（体现业绩能力），日均成交额（代表流动性）这三大核心指标，梳理出十大半导体基金，涵盖主动管理型基金、被动指数ETF及跨境基金，全面覆盖半导体产业链投资机会。
2025年半导体基金呈现“ETF主导、设备为王”格局，前十大基金中7只为ETF，且5只聚焦材料设备赛道，可见市场重视国产替代核心环节。
半导体
跟踪中证全指半导体指数，规模217.41亿元（2025/5），日均成交额超5亿元。2025年Q1净值增长12.51%，前十大成分股贡献73%收益，其中中芯国际（净利润同比+166.5%）、寒武纪（连续两季度盈利）为核心持仓。全产业链覆盖设计、制造、封测等环节，有效分散单一环节波动风险，契合国家大基金三期“全链突破”战略。
诺安成长混合
为主动管理型基金，规模184.47亿元（2025/6），股票持仓集中度62.48%。2025年以来收益率15.94%，近3个月收益率14.20%，重仓北方华创（8.59%）、中芯国际（8.14%）等设备龙头。聚焦“设备+材料”卡脖子领域，与大基金三期投资方向高度重合，拓荆科技、华大九天等持仓标的获国家队持续注资。
华夏国证半导体芯片
跟踪国证半导体芯片指数，规模53.07亿元（2025/5），成分股30只。近一年收益率28.3%，行情上行期弹性显著，2025年9月24日单日涨幅5.18%。“小而精”持仓结构，重点配置恒玄科技（季度涨24.87%）、澜起科技（净利润增135%）等AI算力关联企业。
易方达半导体材料设备
跟踪中证半导体材料设备指数，规模超50亿元（2025/8），9月24日净流入1.02亿元。近6日累计吸金2.84亿元，9月24日净值大涨9.44%，成分股中微公司、北方华创贡献主要收益。精准对接大基金三期“设备突围”主线，前十大成分股含拓荆科技（HBM封装设备龙头）、沪硅产业（300mm硅片龙头）。
嘉实科创芯片
跟踪上证科创板芯片指数，规模超50亿元（2025/8），含芯量超95%，科创板20%涨跌幅机制提升弹性。2025年以来收益率12.51%，位列科创芯片ETF第一，持仓海光信息（净利润增75.33%）表现突出。聚焦AI算力芯片、RISC-V架构等前沿领域，契合科创板半导体企业技术突破周期。
银华集成电路基金
主动管理型基金，截至2025/3/10，成立以来逆势收益两位数，2025年以来回报10.35%，跑赢申万半导体指数30个百分点。90%持仓为“1-N”阶段成熟企业，逆向布局兆易创新（季度涨9.44%）、韦尔股份（涨27.11%）等国产替代龙头。
国泰中证半导体材料设备主题
跟踪中证半导体材料设备指数，9月24日净值增长排名全市场第三，规模35亿元（2025/9）。近3个月收益率18.7%，持仓中科飞测、富创精密等设备股9月24日涨幅超10%。紧密跟踪半导体设备指数（季度平均涨跌幅0.63%），受益于中芯国际产能利用率回升至90%的行业红利。
半导体设备
跟踪半导体材料设备指数，规模30亿元（2025/7），近5日资金净流入超1亿元。2025年Q3收益率15.2%，成分股长电科技（HBM封装龙头）、华海清科（检测设备）贡献主要涨幅。专注材料与设备细分赛道，国产化率提升逻辑明确，沪硅产业、中微公司等持仓标的国产化率已超35%。
广发中证半导体材料设备
9月24日净值涨幅9.44%，规模29亿元（2025/9）。近1个月收益率14.6%，资金追捧度高，9月24日成交1.2亿元。重仓半导体材料设备指数成分股（该指数季度平均涨0.615%），贴合“材料-设备-制造”国产化主线。
iSharesPHLX半导体
跨境ETF，跟踪费城半导体指数，规模136.1亿美元，长期年化收益25.55%，2025年以来收益率22.8%，持仓英伟达、AMD等全球龙头，分散地域风险。覆盖美国、中国台湾等半导体强国，平衡国产替代与全球技术红利，适合全球化配置需求。